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鄭科探高溫400℃ 低-190℃ 微型真空探針冷臺 測試噪聲小于5E-13A 可擴展上下雙透視窗口用于光電測試 可擴展凹視鏡 用于拉曼光譜測試 探針腔體可達真空0.1pa（機械泵） 1E-3Pa（分子泵）可用于光學(xué) 氣敏 濕敏 壓敏材料 電化學(xué)測試

微型高低溫真空探針臺 加裝真空位移拉伸夾具 實現(xiàn)對柔性傳感材料在不同溫度 濕度 氣體濃度 壓力和位移條件下的電學(xué)信號測試 位移控制分辨率≤5微米 行程20mm 位移過程可采集樣品信號 熱臺溫度范圍 高溫60℃低溫-60℃ 機械泵極限真空小于1Pa

氣敏微型真空探針臺真空冷臺鄭科探 廠家直銷腔體設(shè)計有進氣口和抽真空接口其真空度用機械泵可達＜5Pa分子泵可達＜-3Pa。真空信號連接處使用高級真空電極信號接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時將需將待檢測的器件方在加熱臺面，探針頂尖處由3軸可移動探針手動調(diào)節(jié)移動至被測試器件的引腳處，外部信號線連接測試儀器來測試電學(xué)信號。

該氣敏真空探針臺 廠家直銷腔體設(shè)計有進氣口和抽真空接口其真空度用機械泵可達＜5Pa分子泵可達＜-3Pa。真空信號連接處使用高級真空電極信號接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時將需將待檢測的器件方在加熱臺面，探針頂尖處由3軸可移動探針手動調(diào)節(jié)移動至被測試器件的引腳處，外部信號線連接測試儀器來測試電學(xué)信號。

微型真空探針熱臺KT-Z165M4RT精巧型真空腔體測試腔主要用于氣體敏感材料或其他對環(huán)境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺，臺面為φ30，臺面最高可升溫到最高400℃。臺面四周裝有微型3軸可移動鎢鋼探針，特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測試。